Tikanga mo te whakarite polysilicon.

1. Uta ana

Whakanohoia te quartz crucible kua pania ki runga i te tepu whakawhiti wera, taapirihia nga rauemi mata kirikiri, katahi ka whakauruhia nga taputapu whakamahana, nga taputapu whakamahana me te uhi oumu, whakanekehia te oumu ki te whakaheke i te pehanga i roto i te oumu ki te 0.05-0.1mbar me te pupuri i te korehau. Whakauruhia te argon hei hau whakamarumaru kia mau tonu te pehanga i roto i te oumu i te 400-600mbar.

2. Whakawera

Whakamahia he whakamahana graphite hei whakamahana i te tinana o te oumu, tuatahi whakaeto i te makuku kua whakauruhia ki runga i te mata o nga waahanga kauwhata, te paparanga whakamaarama, nga rauemi mata kirikiri, me etahi atu, ka ata whakamahana kia tae ki te 1200-1300 te pāmahana o te quartz crucible.℃. Ko tenei tukanga e 4-5h.

3. Whakarewa

Whakauruhia te argon hei hau whakamarumaru kia mau tonu te pehanga i roto i te oumu i te 400-600mbar. Whakanuia te mana whakawera ki te urutau i te pāmahana i roto i te ipu para ki te 1500 pea℃, a ka timata te rewa o nga rauemi mata silicon. Kia mau ki te 1500 pea℃i roto i te tukanga whakarewa kia oti ra ano te whakarewatanga. E 20-22 haora te roa o tenei mahi.

4. Te tipu tioata

I muri i te rewa o te rauemi mata kirika, ka whakahekehia te mana whakawera kia taka te pāmahana o te ipu ki te 1420-1440.℃, ko te ira whakarewa o te silicon. Katahi ka neke haere whakararo te whariki kiripaka, ka piki haere ranei te taputapu whakamaarama, na reira ka mawehe atu te parapara kiripaka i te rohe whakamahana ka huri te wera ki nga taiao; i te wa ano, ka tukuna te wai i roto i te pereti whakamatao ki te whakaiti i te pāmahana o te rewa mai i raro, ka hanga tuatahi te kirikiri kirikiri ki raro. I te wa o te tipu, ka noho whakarara tonu te atanga totoka-wai ki te rererangi whakapae kia oti ra ano te tipu o te karaihe. E 20-22 haora te roa o tenei mahi.

5. Te whakaene

Ka mutu te tipu o te karaihe, na te nui o te rōnaki pāmahana i waenga i te raro me te tihi o te karaihe, ka noho pea te ahotea waiariki i roto i te ingot, he ngawari ki te pakaru ano i te wa o te whakamahana o te angiangi silicon me te whakarite o te pākahiko. . Na reira, i muri i te otinga o te tipu o te karaihe, ka pupurihia te ingot silicon tata ki te waahi whakarewa mo nga haora 2-4 hei hanga i te pamahana o te kakahu o te silicon ingot me te whakaiti i te ahotea wera.

6. Te whakamatao

I muri i te whakaurunga o te ingot silicon ki roto i te oumu, whakawetohia te mana whakawera, whakaarahia te taputapu whakamahana wera me te whakaheke rawa ranei i te ingot silicon, ka whakauru i te rere nui o te hau argon ki roto i te oumu ki te whakaheke haere i te pāmahana o te ingot silicon ki te tata. te pāmahana rūma; i te wa ano, ka piki haere te pehanga hau i roto i te oumu kia tae ra ano ki te pehanga hau. E 10 haora pea te roa o tenei mahi.